拋光液，以其優(yōu)越性能、可靠品質(zhì)，贏得了廣大用戶信賴，使用戶獲得最合理拋光工藝、最優(yōu)拋光質(zhì)量最佳效率。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車、摩托車、航空、發(fā)動機、壓縮機、內(nèi)燃機、紡織機械、鋁型材、鋅鋁鑄件、非鐵金屬鑄件、不銹鋼精密鑄件本產(chǎn)品能提高磨削效率，減少磨具磨損。對工件有保護及潤滑作用，提高工件表面光潔度光亮度。根據(jù)各種材質(zhì)工件滾拋需要，研制成不同磨液，供用戶自行選擇。
1965年美國孟山都公司世界上首先提出了二氧化硅溶膠凝膠應(yīng)用于硅晶圓片拋光加工專利。從此，半導(dǎo)體用拋光液(slurry)成為了半導(dǎo)體制造重要、必不缺少輔助材料。半導(dǎo)體硅片拋光工藝銜接材料與器件制備邊沿工藝，它極大地影響著材料器件成品率，并肩負消除前加工表面損傷沾污以及控制誘生二次缺陷雜質(zhì)雙重任務(wù)。特定拋光設(shè)備條件下，硅片拋光效果取決于拋光劑及其拋光工藝技術(shù)。隨著集成電路集成度不斷提高，相應(yīng)要求亦有所提高，不但直徑要增大，技術(shù)要求也相應(yīng)地提高，并不斷有新要求出現(xiàn)。
采用SiO2拋光液進行硅片拋光加工，目前多采用化學(xué)機械拋光(CMP)技術(shù)。拋光工藝有粗拋光精拋光之分，故有粗拋光液精拋光液品種之分。預(yù)計2005年-2010年期間，我國半導(dǎo)體拋光片業(yè)內(nèi)整體需求拋光液量，每年會以平均增長率為25%比率增長。2004年間使用SiO2拋光液總共約157噸。其粗拋液有約126噸,精拋液有約31.5噸。
目前我國半導(dǎo)體硅拋光片加工，所使用拋光液絕大多數(shù)都靠進口。國外半導(dǎo)體硅拋光液市場占有率較高生產(chǎn)廠家，主要有美國Rodel&OndenNalco、美國DUPONT公司、日本FUJIMI公司等。盡管我國目前拋光液行業(yè)現(xiàn)已發(fā)展到有幾十家企業(yè)，但真正涉足到半導(dǎo)體硅片拋光液制造、研發(fā)方面企業(yè)很少。無論產(chǎn)品質(zhì)量上、還市場占有率方面，國內(nèi)企業(yè)都表現(xiàn)出與國外廠家具有相當(dāng)差距。 |
